Мегазонная мегазонная два - Среднее чистящее и чистящее звание - Dryer (SIC Cleaner с Megasonic Brithing Spin - Drying) состоит из единого - нагрузочного устройства для нагрузки на поставку. Блок очистки FFU, система управления электрическим управлением, система трубопроводов и пневматическая система.
Параметры продукта
1. Продолжительный поток:
Нагрузка → Расположение → вращение, чистка, очистка, два - распыление жидкости (сторона Si) → перевернуть 180 градусов → вращение, чистка, очистка, мегазоническое распыление (С стороны) → вращение, спин - Drying → Unload
2. Материал Маджор:
Металлическая рама
PP Белая доска
3. Транспортировка:
Вафры транспортируются чистой роботизированной рукой.
Особенности продукта и приложения
Удаляет остаточные частицы с обеих поверхностей пластины:
a. Particle size 0.3~0.5 µm: removal rate >90% или<200 particles;
b. Particle size 0.5~1 µm: removal rate >95% или<10 particles.
ПРИМЕЧАНИЕ. Инспекционная машина совместима с канделой или SICA.
Детали продукта
Емкость камеры для стирки:
1 пластина
Типичное время производственной партии:
abpx . 144 sec/piece (время щетки регулируется)
Стандартные размеры:
6 дюймов (φ150 мм) и 8 дюймов (φ200 мм)
Non - стандартные размеры:
φ150 ~ 153 мм и φ200 ~ 203 мм
Сценарии приложения
◇ В октябре 2023 года SIC Cleaner с Megasonic Brithing Spin - был заказан и начал работу в качестве демонстрационного устройства на сайте клиента для Wuxi Hy Solar.
горячая этикетка : SIC Cleaner с мегасоническим чистком спином - сушка, китайский чистка с мегасоническим чистком лентой - Производители сушки
