Система химического снабжения Si Pafer состоит из двух подсистем:
Система помешивания допинга
Система подачи смешанной жидкости
Система обеспечивает полировую проливную допингу, смешивание и функции питания для конечных точек машины.
Параметры продукта
1. Продолжительный поток:
Соединение → Смешивание → Поставка
2. Материал Маджор:
Металлическая рама с пластинами PP Shell
Пневматический насос PVDF / Пневматический насос Perfluoro
3. Специальные особенности:
Оборудован специальной троллей
Конфигурация бака хранилища: 1 Active + 1 запасной
Особенности продукта и приложения
Система поставляет химическую механическую полировку для обработки пластин.
Детали продукта
Использует импортные материалы и трубки PFA охлаждающих катушек
Строгий контроль чистоты во время сборки
Собрано в классе 10 000 чистящих средств
Предотвращает загрязнение частиц и металла
Сценарии приложения
◇ В декабре 2024 года была введена в эксплуатацию системы химического снабжения SI Pafer (CDS) и начала работу на участке клиента Шанхай Аст.
горячая этикетка : Система поставки химикатов Si Pafer, Китай Si Wafer Chemicals System Systems Производители системы
